微动论文

纳米技术和薄膜润滑
一、纳米技术与薄膜润滑（论文文献综述）董懿[1]（2021）在《石墨烯润滑油的制备及其抗磨减摩性能试验研究》文中指出近年来,抗磨减摩技术的飞速发展,传统润滑油开始在微尺度摩擦的...
微加工用双足大行程微动台的研究
一、微细加工用双足式大行程微动工作台的研究（论文文献综述）谭令威[1]（2021）在《宏微垂直运动平台的复合控制与误差补偿研究》文中指出在微电子制造领域,垂直运动平台具有广泛的...